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无尘车间洁净室污染源有哪些

2022-10-24

无尘车间洁净室污染源有哪些

各个不同无尘车间洁净室及相关受控环境,其污染来源的构成及所占份额可能不尽相同,但主要的为以下方面:

1.人员

尽管已有许多生产工艺日益提高机械化、自动化程度,尽量减少人员直接进入生产区,以降低由于人员参与带入的污染。但截至目前,列为多数无尘车间洁净室及相关受控环境的主要污染来源仍然是人。虽然为防止进入无尘车间洁净室人员散发过量的污染物,以致不利于生产环境而采取了许多措施,如进入前穿着适用于不同级别无尘车间洁净室的成套洁净服、戴口罩、操作手套、指套等;人员进入无尘车间洁净室前,一般要经过空气吹淋;此外进入人员还有其他的规章制度,例如个人卫生、化妆品的使用限制,在无尘车间洁净室内的行走速度等。但即便如此,仍然存在人体表面及内衣上的污染物穿透洁净服,以及人员呼吸所产生的污染物,扩散到无尘车间洁净室空气中污染环境、影响产品质量的问题。

曾经有人为无尘车间洁净室设计过类似于宇航服装的洁净工作服,人员的呼吸经封闭头盔和软管接到尾气过滤装置来完成。虽然这种服装几乎杜绝了人员向外散发污染粒子,但是既不实用,造价也昂贵,同时严重制约了人员的行动,妨碍正常操作和工作效率而难以普遍推广。

2.毗邻无尘车间洁净室及相关受控环境的污染区域

与无尘车间洁净室及相关受控环境周边毗邻或相通的较低洁净度的区域或是非洁净区,由于人员、物料的进出携带入的污染空气,或沉降在人员、物料上的污染物被带入,是影响室内洁净度的另一个重要污染来源。

无尘车间洁净室

合理的正压差是减少通过围护结构的缝隙和传递窗、门、传送带开口等孔洞侵入污染空气的重要措施。设在门口的气闸室、缓冲室以及空气吹淋室,也都有一定作用。但完全避免周边区域对无尘车间洁净室环境的干扰与影响也是困难的,特别是在无尘车间洁净室外门的附近区域,因此工艺关键区域宜于远离外门。

3.未经过滤的送风泄漏

在正常情况下,新建、改建无尘车间洁净室或是末级过滤器更换后,按规范进行了严格的验收检测,那么高效过滤器本身、高效过滤器与支撑框架的接触面如有泄漏,都应被查出并予以处理。此时,送风系统就应不存在未经过滤而进入无尘车间洁净室的空气。值得防范和注意的是,在生产过程中未按操作规章不慎触及脆弱的高效过滤器纸芯,或是高效空气过滤器支撑框架因振动或是密封胶垫老化、变质致使高效过滤器与框架接触面的密封垫或胶条出现裂隙,而泄漏未经过滤的空气污染无尘车间洁净室,这也是日常监测工作关注的重点。中净环球净化可提供无尘室、洁净室的咨询、规划、设计、施工、安装改造等配套服务。

4.围护结构及其他表面

多年来随着建筑装饰材料的技术进步,无尘车间洁净室及相关受控环境的墙面、地面、顶棚的产尘量日益降低;其表面平整光滑,并防静电,因此吸附、聚积尘粒的几率也在下降。无尘车间洁净室所使用设备、家具等的表面也都具有同样的性能,正常条件下不应产尘、积尘。但无尘车间洁净室各种表面依然存在由于人员的触摸被污染,或因生产过程中被污染空气所携带尘粒的沉降、附着作用,而被污染。特别是在非工作班未设净化通风系统值班工况时,因洁净空调系统停止运行而对周围环境无正压功能,由于大气扩散效应侵入室内空气中的污染粒子将沉降、附着到各个表面上。如果在无尘车间洁净室重新正常运行与工作时,未清洁这些表面,那么它们将成为无尘车间洁净室的又一个污染源。

5.处于工作状态的机器设备

多年来,出于减少无尘车间洁净室人员产生的污染以及提高工作效率和精度的双重考虑,某些无尘车间洁净室采用了更多的机器设备、机械手及其他自动化装置。实践过程中发现,固然是减少了人员的污染因素,一定程度上改善了无尘车间洁净室的状况。但运转中的机器设备由于润滑剂、机械磨损以及电器自控装置运行中产生的尘粒污染,又成为了被关注的问题。

某些工艺过程往往也散发粉尘,如电子行业的硅片切制、打磨等,对于这类工艺通常宜采用屏蔽措施,使其与无尘车间洁净室及相关受控环境相隔离;同时采用局部排风措施,使其相对于周边为负压,以尽量减少污染物外溢。

6.原材料、容器、包装等

对进入无尘车间洁净室的设备、材料以及容器、包装等的预清洁、拆包地点和方法,以及进入无尘车间洁净室的程序等,在无尘车间洁净室运行管理的相关规范中都有明确说明。但仍难完全杜绝粘附在原材料、容器、包装,特别是一些难于彻底清洁的产品的细小组件等上的污染物被带入无尘车间洁净室。它们构成了生产过程中的又一个重要污染源,这一点上往往容易被忽略,通常出现问题时,常把注意力放在寻找空调净化系统的缺陷上。在承担过的多项无尘车间洁净室现状调查与测试中,发现不少无尘车间洁净室产品部件带入的微粒是出现问题的重要原因。

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